国产程序
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SK-G06123K-R
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SK-G06123K-2R
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温区
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单温区
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双温区
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最高温度
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1200℃
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加热区长度
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国产程420mm段程序
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恒温区长度
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210mm
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280mm
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加热元件
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高电阻优质合金丝OCr27Al7Mo2
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空炉升温时间
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<15min
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额定功率
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3Kw
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3.2Kw
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额定电压
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220V
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温度控制
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国产程序控温系统可编辑50段程序控温;进口程序控温系统可编辑40段程序控温;
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控温精度
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±1℃
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石英管尺寸(mm)
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Φ60x1000/Φ90x200mm
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Φ60x1000/Φ90x300mm
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炉管材料
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石英玻璃管
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旋转速度
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0-20/S
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倾斜角度
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40°
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炉管最高工作温度
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<1200℃
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配置炉管时升温速度
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500℃以下≤5℃/min; 500-800℃≤10℃/min; 800-1000℃≤5℃/min; 1000-1200℃≤2℃/min
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外形尺寸(深x宽x高)
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340x580x555mm
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重量
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75Kg
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标准配置
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气路总成一套 (含真空压力表)、石英管一支、石英堵两个、钩子一把、高温手套一副
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真空/气氛总成配套(可选)
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真空控制系统: 中真空控制系统、高真空控制系统、真空测量系统;
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气路控制系统:气体浮子流量控制系统、气体质量流量控制系统;
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计算机集散控制系统; CVD电炉系统;
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