唐山标先电子有限公司

产品介绍

直流磁控溅射电源(SS III 系列)

品牌	标先（BOVCEED）	型号	SS III 系列	输入电压	AC380V三相四线制 50-60HZ±10％（V）
输出电压	空载800V[峰值电压]（V）	输出功率	10-120KW（W）	产品认证	ISO9001
物料编号	4649	加工定制	是	适用范围	适用于反应膜层环境使用。
电源名称	直流脉冲磁控溅射电源	冷却方式	10-60KW风冷 60-120KW水冷	脉冲宽度	10-90％
输出方式	脉冲

SS-III系列直流磁控溅射电源技术规格
SS-III系列磁控溅射电源工作于二级高频变换模式，单极脉冲方式输出，电源的电流与脉冲宽度独立调整。脉冲方式工作时，溅射靶工作于高频率间歇状态，使靶材表面积累电荷有一定的泄放时间，有利于抑制靶材弧光放电及表面中毒，适用于反应膜层环境使用。
电源功率范围	10-120KW
输入电源	AC380V三相四线制 50-60HZ±10％
输出方式	脉冲
脉冲宽度	10-90％
输出电压	空载800V[峰值电压]
灭弧时间	≤3uS
输出电流稳定率	0.5％
冷却方式	10-60KW风冷 60-120KW水冷
使用环境	环境温度 0-40℃ 环境湿度相对湿度≤85％空气清洁无粉尘无腐蚀性易燃性气体通风良好
冷却水	清洁不含矿物质及其他可溶性物质水温 20-30℃ 压力 0.15±0.05Mpa
通讯方式	模拟/RS485/RS232
说明：电源的输出特性可根据使用需要作相应调整

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公司简介

唐山标先电子有限公司（原遵化市三石电子技术研究所）创建于2002年，是一家集研发、制造、营销于一体的科技型企业。公司坐落于地理位置优越、交通便利、环境优美的燕山南苑——遵化市。公司占地面积12000平米，员工50余名。产品已经分布全国各地，且远销于国外。
多年来，标先始终专注于真空等离子、电化学等材料表面处理领域的电气设备及相关工艺研究。坚持以科技创新来推动我们产品的更新，有力的提升了公司在这一领域的超前地位。目前，公司可以生产九个类别，七十余款电源产品及电子设备。其中高频电源功率已延伸至兆瓦级。随着公司研发队伍的壮大和潜心努力，公司将继续推出技术领先的新一代产品。
“稳定、创新”是我们的准则，并且坚持始终如一的为广大客户提供高品质以及全方位的服务。我们已经在全国建立了完善的营销网络和服务体系，确保为客户提供方便、快捷、周到的全程服务。
我们将继续推出一系列领先和创新的产品，为我们的共同发展而做出更大贡献。

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公司名称：		唐山标先电子有限公司
联系人：		陈小姐
所在城市：		河北省遵化
详细地址：		河北遵化市新店子镇
公司商铺：		39557.china-nengyuan.com
公司电话：		0315 6028898
手机：		15932566306

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主营产品：偏压电源磁控溅射电源离子源电源气体流量控制电源弧电源
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